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YAG激光場(chǎng)鏡 - 平場(chǎng)聚焦鏡 - Ftheta聚焦透鏡
2019-10-01 12:44:50
平場(chǎng)聚焦鏡,又稱YAG激光場(chǎng)鏡、F-theta聚焦鏡、激光掃描透鏡、聚焦場(chǎng)鏡,是一套透鏡光學(xué)元件,通常是由三片聚焦鏡和一片保護(hù)鏡組成,保護(hù)鏡雙面鍍?cè)鐾改ぃ_保透過(guò)率大于99%。主要作用是在整個(gè)標(biāo)記平面上形成一個(gè)均勻的聚焦點(diǎn),是激光打標(biāo)機(jī)的核心附件之一。一般來(lái)說(shuō),在光纖激光打標(biāo)機(jī)中,當(dāng)激光束通過(guò)聚焦透鏡系統(tǒng)時(shí),會(huì)發(fā)生離軸偏轉(zhuǎn)。與理想平面相比,標(biāo)記表面會(huì)出現(xiàn)異常圖像或畸變。場(chǎng)鏡可分為f-theta透鏡和遠(yuǎn)心透鏡,由于遠(yuǎn)心透鏡的成本和費(fèi)用很高,在工業(yè)應(yīng)用的激光打標(biāo)機(jī)中主要使用F-theta透鏡。焦距的位置僅取決于焦距和偏轉(zhuǎn)角,從而簡(jiǎn)化了焦距定位的計(jì)算方法。
場(chǎng)鏡的技術(shù)參數(shù)為掃描范圍、工作波長(zhǎng)、入射光瞳和焦斑直徑。
工作波長(zhǎng):
主要是依據(jù)激光的波長(zhǎng)來(lái)選擇,場(chǎng)鏡的鍍膜是跟據(jù)激光的波長(zhǎng)來(lái)決定的。如果場(chǎng)鏡的波長(zhǎng)與激光的工作波長(zhǎng)不一致,場(chǎng)鏡將被激光燒壞。
入射光瞳:
如果使用單個(gè)反射鏡,并將鏡子放置在入射光瞳的位置,則入射光瞳的直徑等于最大可用光束的直徑。
掃描范圍:
場(chǎng)鏡掃描范圍越大,聚焦點(diǎn)越大,畸變也越大。為了增加掃描范圍,還應(yīng)增加反射鏡的焦距和工作距離。工作距離越長(zhǎng),激光能量損失越大。聚焦光斑直徑與焦距成正比..隨著掃描范圍的增大,聚焦光斑直徑增大,光斑不夠集中,加速激光功率密度的減小(功率密度與光斑直徑的二次功率成反比),不利于加工,因此,應(yīng)根據(jù)不同的處理區(qū)域選擇合適的場(chǎng)鏡,或備用多個(gè)掃描范圍不同的場(chǎng)鏡。
聚焦光斑直徑:
對(duì)于入射激光光束直徑D、光束質(zhì)量因子Q和場(chǎng)鏡焦距F的掃描系統(tǒng),聚焦光斑直徑d=13.5QF/D(Mm)。利用擴(kuò)束器可以獲得較小的聚焦光斑。
平場(chǎng)聚焦透鏡經(jīng)過(guò)設(shè)計(jì)可以在激光掃描或雕刻系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)最佳性能。場(chǎng)鏡極其適合雕刻和標(biāo)記系統(tǒng)、圖像轉(zhuǎn)移和材料處理等應(yīng)用。對(duì)于激光掃描和雕刻系統(tǒng)中的很多應(yīng)用,平面聚焦透鏡可以實(shí)現(xiàn)最佳的結(jié)果。f-theta場(chǎng)鏡主要用于激光打標(biāo)機(jī)、激光測(cè)量?jī)x器及科學(xué)測(cè)試。
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